* °í°´: F»ç
* Àåºñ: ¿öÅ©ÀΠè¹ö
* ³»ºÎÅ©±â: 2,000(W) x 2,000(D) x 1,800(H)mm
* ¿Âµµ¹üÀ§: -50¡É ~ +150¡É
* ½Àµµ¹üÀ§: 30% ~ 98%RH
* Ramp rate: 3.0.¡É/min
* ¼³Ä¡: 2020³â 3¿ù